艾博納高低溫探針臺(tái)是一款專為高精度電子測(cè)量設(shè)計(jì)的優(yōu)良測(cè)試設(shè)備，廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域，旨在提供超凡的測(cè)試性能與可靠性。其精心設(shè)計(jì)能夠滿足嚴(yán)苛的測(cè)試需求，尤其適用于高低溫環(huán)境下的精準(zhǔn)測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào)：ABN-VPS-001

該設(shè)備的真空腔體采用外腔與屏蔽腔雙腔體結(jié)構(gòu)，確保樣品在測(cè)試過(guò)程中處于極限真空狀態(tài)，最大真空度可達(dá)到10^-4 Pa。這樣的設(shè)計(jì)有效防止了低溫條件下水汽凝結(jié)的現(xiàn)象，并在高溫測(cè)試時(shí)防止樣品氧化，顯著提升了測(cè)試的穩(wěn)定性和可靠性，同時(shí)優(yōu)化了制冷效率，為用戶提供更為精準(zhǔn)的測(cè)試環(huán)境。

顯微鏡部分，艾博納高低溫探針臺(tái)搭載了高性能體式金相顯微鏡，能夠在絕大多數(shù)環(huán)境下提供高穩(wěn)定性的顯微觀察，確保在各種條件下都能得到清晰、精確的視圖。此外，艾博納高低溫真空探針臺(tái)還配備了優(yōu)良的1270萬(wàn)像素尼康CCD相機(jī)，能夠捕捉細(xì)節(jié)豐富、色彩真實(shí)的圖像，幫助用戶準(zhǔn)確分析樣品的微觀結(jié)構(gòu)。

無(wú)論是在科研實(shí)驗(yàn)中對(duì)材料的精密分析，還是在工業(yè)生產(chǎn)中對(duì)高精度元件的質(zhì)量檢測(cè)，這款探針臺(tái)都能夠提供可靠的支持，成為您理想的測(cè)試伴侶。

工作原理

溫度控制系統(tǒng)

制冷方式：

熱電制冷（TEC）：通過(guò)帕爾貼效應(yīng)實(shí)現(xiàn)快速降溫（-60°C至+150°C），適合小范圍溫度調(diào)節(jié)。

液氮制冷（LN?）：利用液氮蒸發(fā)吸熱實(shí)現(xiàn)超低溫（-196°C至室溫），適用于極低溫測(cè)試。

加熱方式：電阻絲或薄膜加熱器，用于升溫（最高可達(dá)+300°C以上）。

溫度均勻性：通過(guò)導(dǎo)熱介質(zhì)（如氮?dú)庋h(huán)或真空環(huán)境）確保樣品臺(tái)溫度分布均勻。

探針定位系統(tǒng)

精密機(jī)械結(jié)構(gòu)：XYZ三軸微米級(jí)移動(dòng)平臺(tái)，搭配顯微鏡或CCD相機(jī)輔助探針與樣品的精確對(duì)準(zhǔn)。

真空吸附：通過(guò)真空吸盤(pán)固定樣品，避免位移。

信號(hào)測(cè)試系統(tǒng)

探針類型：直流探針、高頻探針、同軸探針等，連接至源表（SMU）、網(wǎng)絡(luò)分析儀等測(cè)試設(shè)備。

屏蔽設(shè)計(jì)：電磁屏蔽箱減少外界干擾，提升測(cè)試精度。

操作流程

準(zhǔn)備工作

樣品安裝：清潔樣品臺(tái)，使用真空吸附或機(jī)械夾具固定樣品。

探針安裝：選擇合適探針（材質(zhì)、間距），安裝到探針臂并調(diào)整高度。

溫度設(shè)置：根據(jù)測(cè)試需求設(shè)定目標(biāo)溫度（如-50°C、25°C、150°C）。

溫度控制啟動(dòng)

液氮模式：連接液氮罐，開(kāi)啟制冷系統(tǒng)，監(jiān)控溫度曲線直至穩(wěn)定。

TEC模式：設(shè)置溫度梯度，避免溫度驟變導(dǎo)致樣品或探針損傷。

探針定位與測(cè)試

顯微鏡對(duì)準(zhǔn)：通過(guò)顯微鏡觀察，調(diào)整探針與樣品的Pad接觸，確保接觸電阻最小。

電學(xué)測(cè)試：連接測(cè)試儀器（如Keysight B1500A），執(zhí)行IV曲線、阻抗、射頻特性等測(cè)試。

結(jié)束操作

升溫回常溫：避免直接關(guān)閉制冷導(dǎo)致結(jié)霜。

關(guān)閉系統(tǒng)：依次關(guān)閉測(cè)試設(shè)備、溫度控制器、真空泵等。

維護(hù)要點(diǎn)

日常維護(hù)

清潔：使用無(wú)塵布和異丙醇清潔樣品臺(tái)、探針，防止氧化或污染。

探針保養(yǎng)：定期檢查探針磨損，必要時(shí)更換或重新打磨。

氣路檢查：液氮管路需定期檢查密封性，避免泄漏或堵塞。

溫度系統(tǒng)維護(hù)

液氮系統(tǒng)：排空殘留液氮，防止管路腐蝕；檢查杜瓦罐壓力閥。

TEC模塊：避免長(zhǎng)時(shí)間滿負(fù)荷運(yùn)行，防止熱電偶老化。

機(jī)械系統(tǒng)維護(hù)

移動(dòng)平臺(tái)潤(rùn)滑：定期涂抹專用潤(rùn)滑脂，保持XYZ軸移動(dòng)順暢。

真空泵維護(hù)：更換真空泵油，檢查吸附力是否達(dá)標(biāo)。

電氣安全

接地檢查：確保設(shè)備接地良好，防止靜電損傷樣品。

屏蔽箱維護(hù)：檢查屏蔽效能，防止電磁干擾。

定期校準(zhǔn)

溫度校準(zhǔn)：使用標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器（如PT100）校驗(yàn)樣品臺(tái)實(shí)際溫度。

探針定位校準(zhǔn)：通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)刻度片校正顯微鏡和移動(dòng)平臺(tái)精度。